Михаил Семёнович Лурье

Чердак на Волковской. Этот отрезок жизни начался для меня в мае 1956 года. В то время я занимался сегнетоэлектрическими преобразователями для геологоразведочной аппаратуры. После доклада на конференции в Доме техники, подошел ко мне представительный мужчина с внешностью Жана Марэ и сказал, что хотел бы познакомить меня со своими шефами. Это был Николай Иннокентьевич Бородин, позднее «Николенька», который стал, таким образом, моим «крёстным» в ЛКБ.

Встреча с будущими шефами произошла на Невском у Публичной библиотеки. Первое впечатление:
– тот, что поменьше – то ли Чаплин, то ли Штраус из к/ф «Большой вальс»,
– длинный – Жак Паганель во всех отношениях.
И потащили они меня в «Европейскую» обедать. Стеснялся до неприличия. Да к тому же разговаривали они с таким «аглицким» привкусом, что моя засекреченная душа бродила где-то в области пяток. Потом я несколько раз приезжал к ним, будучи уже в курсе, что к чему, и после этих встреч получил официальное приглашение на работу. Меня удивило тогда, что профессиональные вопросы занимали в этих беседах сравнительно небольшую часть времени; больше говорили о музыке, литературе, общефилософских вопросах, словом «говорили за жизнь». Это совершенно не было похоже на стандартную в таких случаях процедуру. Честно говоря, я долго не мог решиться на переход к ним, отчасти и потому, что мой «геофизический» начальник – Сергей Алексеевич Поддубный – был из той немногочисленной породы мужиков, с которыми не только «в разведку», но и к черту идти не страшно. А еще там был Николай Николаевич Самсонов, «дядя Коля», который задолго до ХХ съезда хорошо промыл мою задурманенную культом голову, и которого я всю жизнь почитаю одним из моих учителей¹. Словом, решиться было непросто, но, наконец, решился, и 6-го декабря 1956 года из младшего научного сотрудника превратился в инженера специальной лаборатории СЛ-11².

Лаборатория размещалась в небольшом отсеке под крышей дома на Волковской улице. Было там, кажется, 9 или 10 комнат метров по 15 в каждой. Одну из них занимали шефы, одну – всяческая администрация, две были объединены в макетную мастерскую. Уже работали в своих комнатках будущие руководящие сотрудники предприятия – ведущий системотехник Николай Иннокентьевич Бородин, ведущий схемотехник Вил Емельянович Бандура, конструкторская группа Петра Акимовича Петрова. Одну комнатку выделили и мне под будущую группу «пленочных» технологов. Через месяц присоединился ко мне Гелий Филаретов, с которым мы подружились сразу и на всю жизнь. Чуть позже пришли Вика Цветкова, потом Ира Игнатьева, Ася Довжик и еще несколько сотрудников; постепенно группа сформировалась, и в комнатке стало тесновато.

Общая стратегическая задача, которую ставил перед нами наш руководитель Филипп Георгиевич Старос (помните – то ли Чаплин, то ли Штраус из к/ф «Большой вальс»), заключалась в том, чтобы все элементы электронных схем можно было изготавливать в виде единого пленочного рисунка на некоем твердом основании, используя при этом сходные или, по крайней мере, похожие технологические приемы. Это сейчас такая задача кажется простой до очевидности, а тогда даже слово «микроэлектроника» было новаторством. До этого говорили «миниатюризация электронного оборудования».

Однако, стратегия стратегией, а пока мы с нуля обустраивали наше пустое «жизненное пространство», красили столы, покупали доступную лабораторную мелочь и кое-что, более солидное. Пилить, паять, заниматься стеклодувным делом, мастерить из ничего нечто пришлось всем, кто работал «на чердаке». И не столько от бедности, а просто потому, что того, что требовалось, большей частью еще не существовало в природе.

Работали с азартом, много и весело. Отчасти потому, что все были молоды, но главное, конечно, было в той творческой, непринужденной и взаимоуважительной атмосфере, которая исходила от шефов. Частенько уходили домой поздно, табором из 10-15 человек. Шли обычно через детскую площадку на выходе к Московскому проспекту. Помню, как забавлялись съезжая паровозиком с катальной горки, а Лёня Норкин с криком «Я – Раймонда Дьен!»³, бросался под ноги съезжающим, и вся «куча мала» от души веселилась.

Пока не начались централизованные поставки (а это случилось много позже, уже на Московском проспекте), основным источником нашего обогащения был небольшой, по нынешним меркам, магазин на Загородном проспекте, почти напротив метро «Пушкинская». Там мы приобрели форвакуумный насос, на котором из 3-литровой банки соорудили установку катодного вакуумного распыления; там же купили сушильный шкаф, маленькую шахтную печку на 15000С и крошечный настольный гидравлический пресс.

Сейчас уже почти никто, вероятно, не помнит, какую значительную роль довелось сыграть этим маленьким печке и прессу в истории ЛКБ. Именно с их помощью были вскоре изготовлены первые ферритовые пластины для кубов памяти. Состав шихты и технологию отработали мы с Асей Довжик (его так и назвали в кулуарах – ФАМ, т.е. «феррит Ася-Миша»!), и пекли эти экспериментальные пластины для Володи Хавкина и Ко, пока не передали заказ производству. Много позже, уже в Доме Советов технологию «кубов» подкрепили отдельной лабораторией С.И. Крейнина, а основа была заложена давным-давно, почти с самого начала работы СЛ-11. «Кубы» – результат удивительного дара технической интуиции, которым обладал Филипп Георгиевич.

В этой связи отмечу и еще один пример. Когда во всем мире микроэлектроника только еще начиналась, подавляющее большинство разработок касалось пленочной технологии. Возможности интеграции в полупроводниковом монокристалле представлялись совершенно туманными и в литературе почти не обсуждались. «Не кладите все яйца в одну корзину» – говаривал при случае Ф.Г. и, когда пришел на работу Лёня Норкин, он его не отправил в мою группу, а определил, как ведущего, на самостоятельное направление – технологию обработки монокристаллов. Хотя поначалу Лёнечке пришлось, как и всем нам, «изобретать велосипед», т.е. собирать лабораторный макет устройства и отрабатывать процесс электрохимического травления кристалла для формирования в нем одиночного транзистора, со временем «твердотельное» направление выросло в отдел (Норкин, Фролова, Скворцов). После того, как на ряде фирм (в том числе и в ЛКБ) были постепенно решены проблемы основных операций планарных технологий, «твердотельное» направление стало основой, на которой, совместно с «пленочными» операциями, базируются все современные технологии. Таким образом, наработки «пленочников» вошли в планарные технологии, как его неотъемлемая составная часть. Кстати сказать, эти наработки используются сейчас не только в классической микроэлектронике, но и в других ветвях микротехнологий, обеспечивающих создание комплексированных изделий микросистемной техники.

Марк Гальперин в своей книге⁴ пишет о «конкуренции» пленочных и твердотельных направлений. Будем снисходительны к субъективности его оценок: системщику, даже успешному, допустимо рассуждать о технологиях не очень профессионально.

Лет десять назад Е.Н. Пятышевым и мной было опубликовано несколько работ, содержащих, в числе прочего, анализ развития и особенности микротехнологий. Никакой «конкуренции», разумеется, между ними не было, а был естественный путь развития от простого к сложному, с объединением операций различного рода в обобщенный технологический маршрут, чем и явился «планар». Интегральные схемы – это многослойные структуры, в которых часть «этажей» формируется в самом кристалле, а часть наносится сверху, и в этом смысле они настолько же «твердотельные», насколько и «пленочные», что особенно отчетливо видно в комплексированных микросистемных чипах. Однако всё это хорошо прослеживается сейчас, по прошествии полувека. А тогда нужна была редкостная техническая интуиция Староса, чтобы организовать развитие «твердотельных» работ в то время, когда возможности интеграции в них даже не просматривались.

Вернемся, однако, к хронологии.

С момента моего прихода в лабораторию, Филипп Георгиевич поручил мне думать над тем, как можно сделать пленочную память на сегнетоэлектриках. Идея была проста: ортогональная сетка электродов, пересечения которых разделены сегнетоэлектрической пленкой; два направления поляризации соответствуют «0» и «1».
Из множества опубликованных работ по сегнетоэлектричеству было очевидно, что подходящий материал, который мог бы обеспечить требуемые характеристики, нужно искать в системе – титанат/цирконат свинца. Однако! – В обычной технологии объемных изделий, применяемые для синтеза исходные компоненты, – это нерастворимые порошки оксидов с размером зерна порядка той, что должна быть у гомогенной многокомпонентной пленки. Кроме того, оксид свинца жутко летуч. Как его удержишь в микронной пленке? Решение пришло совершенно в духе марксистской диалектики (единство противоположностей!) – использовать недостаток, как достоинство. Оксиды титана и циркония мы заменили раствором тетрахлоридов, которые при нанесении на любую поверхность самопроизвольно превращались в тончайшую оксидную пленку, а недостающий свинец входил в нее при термообработке изделия в прессованных обкладках из стехиометрической порошковой смеси. Таким образом, вышеупомянутая эксклюзивная печурка стала для нас прообразом будущих диффузионных печей и процессов легирования. После ряда исследований, проб и ошибок все получилось, и я до сих пор сохраняю как реликвию статью об этом в Докладах Академии Наук, потому что она была представлена к публикации самим А.Ф. Иоффе.

Но ферриты по ряду причин оказались перспективней, и от работ с сегнетоэлектриками мы вскоре отказались. Кстати, недавно мне встретилась свежая американская статья о пленочной сегнетоэлектрической памяти, но разумеемся уже с другими современными средствами технологического обеспечения; широко используются сейчас сегнетоэлектрические пленки и в различного рода фазовращательных устройствах микроэлектроники.

В связи с «кубами» вспомнилась еще одна характерная особенность Филиппа Георгиевича. Долгое время камнем преткновения в обработке ферритовых пластин были «ежи» для ультразвуковой прошивки отверстий. Делали все это в лабораторной мастерской, а труд был почти ювелирный и «ежей» нужно было много, т.к. они быстро снашивались. Ф.Г. проводил в мастерской многие часы, и сам что-то пробуя, и устраивая коллективные обсуждения. В этих обсуждениях мнение слесаря и фрезеровщика ценились им едва ли не выше мнения всей остальной инженерной братии.

И еще одно воспоминание о его удивительном таланте технического предвидения. Это было несколько лет спустя, уже в Доме Советов⁵. Не помню, по какой необходимости сидел я тогда в его кабинете. Вероятнее всего не очень по делу, потому что Ф.Г. начал рассказывать, каким видится ему развитие микроэлектроники в обозримом будущем. Это был практически полный набор нашей сегодняшней, уже реализованной вычислительной и информационно-управляющей техники плюс искусственный интеллект, до которого, согласитесь, уже совсем близко. А было это еще во времена ламповой БЭСМ.

Вообще Филипп Георгиевич и Йозеф Вениаминович (помните – Жак Паганель во всех отношениях) при кажущейся непохожести удивительным образом дополняли друг друга: Старос – воплощенная аккуратность. (Помню, как поставив к себе новый канцелярский стол, он, прежде всего, смазал воском ползунки ящиков, чтобы выдвигались легким прикосновением). Берг – его полнейший антипод не только по внешности, но и в решении технических задач. Однако, в его руках – пусть на проволочках и ниточках – начинало работать все, что по законам здравого смысла работать не могло. Вероятно, многие помнят, уже в «светлановский» период, его черную «экс-Волгу» с бумажным крылом и подвязанной бинтом рессорой. Однажды в очень сильные морозы, машина Цветова, стоявшая в гараже, из-за холода не заводилась. Берговское чудо техники вымерзало на улице. Берг и Цветов сели в нее, Джо включил зажигание, и машина поехала.

Вернемся, однако, на Волковскую улицу в 1958 год.

Численность СЛ-11 к тому времени основательно увеличилась, главным образом за счет «электронщиков», и площади нашего «чердака» стало катастрофически мало. Тогда под крышей соорудили еще одно подобие жилого помещения, и это был уже чердак в чистом виде: стоять в полный рост там можно было не в каждом углу. На чердак переехали электронщики, а физикам при этом досталась еще одна комнатка и мы сумели, наконец, отделить «измерителей» от «кухни». – До этого некоторые из нас основательно надышались парами свинца: вытяжная вентиляция была самопальной.

Так мы и жили до 1960 года, когда СЛ-11 преобразовали в конструкторское бюро и дали нам во владение северное крыло Дома Советов⁶ на Московском проспекте.

Дом Советов. Не могу вспомнить, когда точно и при каких обстоятельствах появился там Геннадий Черкашин. К этому времени севастопольский хулиганистый сорвиголова (читай «Вкус медной проволоки») превратился в интеллигента высокой пробы, был остроумен и остер на язык. Поэтому первая наша беседа была безупречно вежливой, но колючей как шкурка ёжика. Это не помешало нам очень скоро подружиться. Помню, как большой командой ездили на конференцию. Поздно вечером гуляли по улицам города. Ребята о чем-то привычно гомонили. Гена отстал немного и шел молча. Обхватив себя руками, он как будто к чему-то прислушивался, думая о своем и вглядываясь в темные силуэты домов. Странно устроен человек: помню, что именно в те минуты я почувствовал, насколько он мне созвучен. Дружили мы семьями, но после перехода Гены в писательский цех, наши контакты постепенно стали только эпизодическими и случайными. Может быть отчасти поэтому, и сейчас, через много лет после его такой ранней смерти, я продолжаю ощущать его живым и близким.

Простите мне это отвлечение. Вернемся в Дом Советов.

Пятый этаж крыла поделили поровну между группами «твердотельщиков» и «пленочников». Когда наши тогда еще немногочисленные ряды разбрелись по комнатам, оказалось, что стало пустынно, как в Сахаре. Тогда мы с Лёней Норкиным решили съехаться и сделать себе общий кабинет. Правда «сожительствовали» мы не очень долго: общими стараниями, сотрудников в лабораториях прибавилось, и мы разъехались по своим половинкам.

После заселения нашей половины, стало замечаться, что всем нам делается как-то «не в кайф». Вызвали СЭС и намерили в воздухе запредельную концентрацию паров ртути. Когда вскрыли полы, там обнаружились два примерно метровых ртутных озера. Пришлось соответствующим службам две комнаты вынимать до несущих конструкций, заливать все хлорным железом, озонировать и строить комнаты заново. Вот такое приданое оставили нам курсанты, до этого здесь обучавшиеся.

Одна из забав этого периода – протискиваться между колоннами центральной лестницы. Промежутки были неодинаковыми и можно было соревноваться. Среди мужчин Лёня неизменно выходил победителем, его фигуре тогда могла позавидовать самая стройная девушка. Позже мы соревновались на проверку акустической и цветовой памяти, уже с применением физической аппаратуры. Тут все рекорды были моими!

В полупроводниковой лаборатории работала техником заочная студентка Люда Бакуева, отличавшаяся способностью невероятно краснеть из-за любой мелочи. Эту её слабость «злыдни» вроде Филаретова или Лурье иногда бессовестно эксплуатировали. Помню такой диалог:

«Гелий Алексеевич, куда поставить вентилятор?»
«Людочка! Не вентилятор, а вертилятор, – он же вертится».
….пунцовое зарево во всю щеку и покорное «…ну да, вертилятор».
Этот «вертилятор» стал у нас чем-то вроде пароля.
Пишу об этих пустяках, для того чтобы напомнить о том непринужденном климате, который был тогда в коллективе. Хорошее было время!

Много лет спустя мне довелось встретить Людмилу Германовну в ЛПИ, где она работала научным сотрудником и доцентом кафедры; говорят – хорошим доцентом. И уже не краснела.

Мне думается, что именно на период Дома Советов приходится этап наиболее плодотворного развития нашего предприятия. Фактически в этот период ЛКБ было не только всеми признанным лидером, но и как бы «центром кристаллизации» нового направления техники, вокруг которого объединялись тематики многих предприятий различного профиля. Не буду пытаться говорить о других подразделениях, но одни только «пленочники» поддерживали тесные связи и со школой Л.С. Палатника в Харькове, и с лабораторией Елинсона и Вакуумным институтом в Москве, с Рижским и Вильнюсским университетами, Выборгским заводом приборостроения, ЛЭТИ, ФТИ и многими другими. Будущий Президент Литовской Академии Наук – Юрас Карлович Пожела – бывал нашим частым гостем.

По мере увеличения численности, наша группа трансформировалась сначала в лабораторию, затем в НИО-10. Численность отдела в максимуме превысила 100 человек. В отделе были: лаборатория полупроводниковых пленок (Г.А. Филаретов), лаборатория вакуумной металлизации (Л.Н. Щепкин), лаборатория структурных исследований (М.Д. Успенский), химическая лаборатория (Н.А. Сибирякова). Потом она стала самостоятельной лабораторией химического анализа), лаборатория специального приборостроения (Б.В. Гутман), конструкторская группа (Т.А. Кирьянова) и макетная мастерская с отдельным стеклодувным участком.

По вопросу стратегии работы отдела, Старос рекомендовал, чтобы отдел сосредоточился главным образом на поисковых исследованиях, а по мере получения результатов передавал их в другие подразделения или выделял эти подразделения из своего состава. (На базе лаборатории вакуумной металлизации была позже образована самостоятельная лаборатория С.А. Грамма, разрабатывавшая гибриднопленочные микросхемы).

Поскольку с пассивными элементами мы к тому времени уже неплохо разобрались, главной задачей оставались пленочные активные элементы, разработка которых позволила бы создавать функционально полные пленочные микросхемы на изолирующей основе. Одним из таких элементов явились диоды с отрицательным сопротивлением.

Проведенные «Филаретовым и Ко» исследования механизма прохождения тока в тонких слоях оксида алюминия и оксида титана существенно прояснили природу токов, ограниченных объемным зарядом (ТООЗ), в том числе и такие явления, как отрицательное сопротивление в структурах металл-оксид-металл и наличие в них фотолюминесценция. Диоды с отрицательным сопротивлением были изготовлены, исследованы и защищены авторским свидетельством.

Помимо диодов на ТООЗ, исследовались туннельные диоды и особенно обстоятельно – пленки полупроводниковых соединений, которые предполагалось возможным использовать и в диодных матрицах, и главное – в пленочных транзисторных структурах. Исследовалось все, что в тот момент обсуждалось в литературе: Cu2GeSe3, PbS, Te, CdTe, CdSe, CdS и т.д. С первых же опытов стало очевидно, что наибольшие трудности придется преодолевать для сохранения в конденсате стехиометрического состава.

Благодаря тесному сотрудничеству с Львом Самойловичем Палатником и его научной школой, мы к тому времени уже неплохо понимали основные закономерности кристаллизации многокомпонентных вакуумных конденсатов, и убедились на опыте, что известные способы компенсации недостающего в конденсате компонента хорошего результата не дадут.

Но ведь хорошие монокристаллы этих соединений выращивают! Да, разумеется. Только там всё находится в вакуумной отпаянной ампуле и летучему компоненту просто некуда улетучиться. Тогда и возникла идея испарения многокомпонентных соединений в квазизамкнутом объеме, в режимах, обеспечивающих движение пара, как сплошной среды. Идея идеей, а работы предстояло много. Нужно было решить множество вопросов и в теоретическом, и в инженерно-прикладном, и в технологическом плане.

Тогда уже работала аспирантура ЛКБ и Гелий Филаретов, и Юра Бубнов, и я были заочными аспирантами. Гелий уже работал над своей темой, у меня был намечен пленочный полевой триод, поэтому «квазизамкнутый объем» я отдал Юре Бубнову. Забегая вперед, скажу, что Юрий Захарович успешно защитил на этом материале и кандидатскую, и, позднее, докторскую диссертацию. Материал набрался солидный и в теории, и, главное, в экспериментальных зависимостях. Математические дебри теории помогал одолевать Рáвин, виртуозно владевший искусством приближенного вычисления разложением зависимостей в степенные ряды. В экспериментах была занята практически вся полупроводниковая лаборатория (Сергей Таиров, Нина Иевлева, Татьяна Макарова и упомянутые выше).

Потом Юра, Гелий и я систематизировали все наработки и написали небольшую монографию. В публикации четвертым соавтором был Старос. Он долго отказывался, но мы считали это своим моральным долгом и в конце концов его убедили. Идея квазизамкнутого объема оказалась настолько плодотворной, что используется многими исследователями и сейчас, и у моих нынешних коллег на кафедре полупроводников СПбГПУ наша скромная монография⁷ – настольная книга.

Научившись прецизионно управлять составом многокомпонентных конденсатов, можно было уже создать пленочную демонстрационную схему какого-либо устройства. В 1964 году на заседании коллегии Министерства⁸ мы продемонстрировали пленочный микрофонный усилитель. Шокин⁹ заставил его открыть, хотел убедиться, что мы не спрятали там обыкновенные транзисторы. Убедился.

Но я увлекся техникой и снова нарушил хронологию.

В 1962 году ЛКБ принимало Хрущева. По сценарию он должен был посетить и десятый отдел. Часа за полтора до визита появились на нашем этаже очень вежливые рослые мальчики, тщательно осмотрели и обнюхали все закоулки и даже каждый стул проинспектировали собственными задами (а вдруг Генсеку вздумается присесть!). Весь личный состав, кроме начальников лабораторий, упрятали в центральный зал напротив лестницы, а я с Натальей Хитриковой (моим заместителем) стояли по стойке «смирно» при входе в отдел. Наконец появился Хрущев с шефами и толпой свиты. Поздоровались, и я начал докладывать о работе отдела. Удивило, что Хрущев в общении был мало похож не только на портреты, но и на телевизионные кадры: очень живые умные глаза и, что самое неожиданное, уже через 2-3 минуты он начал задавать вопросы не наобум, а совершенно «по предмету». Потом повели его в лабораторию Щепкина, где было более «причесанное» оборудование. Лёва так засмущался, что произнес только одну фразу, ставшую потом крылатой: «…это вакуумная установка; она напыляет». Когда визит закончился, и все визитеры спускались с лестницы, затворники центрального зала все-таки вырвались из заточения и устроили овацию.

По-моему, Хрущев был импонирован: наши девушки смотрелись весьма привлекательно.

А вскоре началась Зеленоградская эпопея.

Приезжаем Филаретов и я в Крюково, где у Староса был кабинет в бывшей средней школе. Заходим:
– Здравствуйте! Мы из ЛКБ.
– В этом нет ничего постыдного: ЛКБ сделал своё дело и может с честью умереть.

Разумеется, это была шутка, но она хорошо иллюстрирует, эйфорическое настроение, в котором находился тогда Филипп Георгиевич. Потом Ф.Г. долгое время разрывался между Ленинградом и Москвой, а группа сотрудников ЛКБ, среди которых был и я, полгода торчала в Москве, работая с проектировщиками Зеленограда. Чем всё это закончилось, все знают (см., например, телефильм Кричевского на НТВ).

К сожалению, в истории не бывает сослагательной формы. Когда вопрос о создании Центра микроэлектроники только еще обсуждался, было два варианта дислокации – Ленинград и Москва. Не знаю, сам Старос выбрал (поскольку в Ленинграде были сложные отношения с партийными лидерами), или кто-то ему присоветовал, но чужакам соваться в Москву было, по-моему, неосмотрительно.

Здесь мне нужно сделать отступление и рассказать о появлении в ЛКБ Петра Давыдовича Токарева. Мы были хорошо знакомы давно, в бытность его Главным инженером Выборгского завода. Когда ему пришлось по семейным обстоятельствам перебраться в Ленинград, мы пришли к Старосу и Ф.Г. придумал ему штатную единицу в НИО-10 «ведущий инженер по расчетам». Это была чистейшая синекура: достойная зарплата при весьма туманных служебных обязанностях. Так мы и проработали вместе довольно долго.

На смену Хрущеву пришел Брежнев и для Староса и ЛКБ начался длительный мучительный период спада и крушения. Думается, что Гальперин в книге слегка преувеличивает исключительную роль Романова в этом процессе. Берг позднее рассказывал мне, что было в письме Хрущеву, которое нашли в его сейфе и передали Шокину. Так что министр имел достаточно личных оснований для своих последующих действий¹⁰. Как человек умный, он выждал приличествующее время и только потом устроил разносное заседание Совета МЭП. При этом, сценарий заседания был выстроен так, что только умудренный жизненным опытом С.И. Крейнин понял сразу куда дует ветер, и отвечая на вопросы, глядел на Шокина честными глазами и врал напропалую. Я и Бородин купились как мальчишки и на вопросы министра отвечали честно. Прекрасно понимаю, что эти вопросы и ответы ничего не меняли, но своей непростительной наивности стыжусь до сих пор¹¹.

Филипп Георгиевич тоже этого не забыл. Вскоре он устроил мне разнос на техническом совете ЛКБ и снял с должности начальника НИО-10. Аналогичный демарш с Николаем Иннокентьевичем у него не получился – бородинские ребята «легли на амбразуру» и Ф. Г. пришлось отступить. Но вскоре Николай уволился сам. Впрочем, со мной Ф.Г. обошёлся вполне по-джентельменски: я получил вместо должности начальника отдела Токаревскую «синекуру» и, если не считать уязвленного самолюбия, это было очень кстати, потому что нужно было срочно заканчивать диссертацию.

Кстати, о диссертации.

Когда я только поступал в аспирантуру, в орбите Староса были два молодых физтеховца: Виктор Иванович Стафеев и Жорес Иванович Алферов. Не знаю, по каким соображениям, вероятнее всего по принципу «орел или решка», Ф.Г. выбрал мне в руководители Стафеева. Ничего не хочу сказать дурного, В.И. был хорошим руководителем, и мы прекрасно ладили. Но представляете, какая была бы у меня сейчас «лапа» – просто «нобелевская крыша», если бы монетка упала другой стороной!

После защиты диссертации Филипп Георгиевич назначил меня начальником организуемой тогда лаборатории ионного легирования. Это было уже после переселения в здание на выезде из города.

На Московском шоссе, 46. Имплантация в стране только начиналась и наш «Везувий-1» имел заводской номер шесть. Это была необъятных размеров махина, в рабочую камеру которой можно было попадать только с площадки, пристроенной к установке лестницы. Помню, как после промывки этой камеры ацетоном (расконсервации), мы выходили через проходную, держась друг за друга и по очень замысловатой траектории, ибо пары ацетона покруче водки.

В лабораторию перевели Борю Гутмана, Гришу и Галю Жихаревич, Володю Лебедева, Лену Карпинскую и еще несколько человек, имени которых я, увы, уже не помню. Через год мы получили еще два компактных агрегата «Везувий-2». Это была неудачная модель, и мы их вскоре продали. Получили рассчитанный на большие дозы облучения «Везувий-3».

С «Везувиями» 1 и 3 мы имели возможность проводить решительно все необходимые операции ионного легирования, и для создания низкоомных областей, и для прецизионной подгонки пороговых напряжений в схемах с дополнительной симметрией. Это была интересная, исследовательская поначалу, работа. С тех пор на нашем предприятии все пластины с большими интегральными схемами (БИС) проходили ту или иную имплантационную обработку.

Однажды у нас произошла авария.

Имплантация бора производится из его трифторида, газа едкого и препакостного, который находится в маленьком штатном баллончике, присоединенном к установке. Когда газ заканчивается его пополняют из большого баллона где-нибудь в другом месте. Наш резервный баллон находился на улице, у самого ручья, за которым стоял котельный паровоз¹². А дело было в январе месяце.

Гутман и я взяли инструменты, противогазы, положенные для такой работы, и отправились заполнять штатный баллон. Но на морозе с вентилем большого баллона что-то случилось, и газ вырвался наружу. Белый столб, которому позавидовал бы сам Гассан – Абдуррахман ибн Хоттаб, взметнулся выше крыши высотки. Пока мы в непроглядном молочном облаке укрощали вентиль, противогазы насытились гадостью и перестали что-либо поглощать. Резало горло и прочее невыносимо! Мне с Борей этот инцидент аукнулся довольно редким и очень противным заболеванием кровеносных сосудов, которое несколько раз еще давало рецидивы. Но в ту минуту все обошлось благополучно, баллон удалось закрыть.

Летом у окон нашей, на первом этаже расположенной, лаборатории можно было загорать «на завалинке», чем девицы с удовольствием пользовались в обеденный перерыв. А еще, с легкой руки энтузиаста Гутмана, мы все очень увлеклись кроссвордами, … разумеется, пока установки откачивались!

Когда начались организационные преобразования предприятий, первоначально ЛКБ ввели в состав «Позитрона» и только позднее мы стали южной площадкой «Светланы»¹³.

Не следовало бы Гальперину в своей книге утверждать, что переход на «Светлану» стал для него полной неожиданностью. Этот вопрос в кулуарах обсуждался, и Бобби Клейман рассказывал мне, как предупреждал Ф.Г. о возможных последствиях такого перехода. Но тогда Старос прислушивался уже только к «Эрику-Марику», а что они советовали, я не знаю.

«Светлана». Дальше произошло то, что произошло: ЛКБ превратили в ЛКТБ. Отрешенный от должности Старос уехал во Владивосток, Берг стал начальником микроскопически крохотной лаборатории, которой выделили «от щедрот» помещение бывшей кладовки, что на лестничной площадке справа от туалета.
Когда появились на предприятии «варяги», общее негативное восприятие предельно коротко выразил мой сосед по рабочему помещению. На вопрос, как выглядит Цветов, зло ответил «… как человек, которому пошел бы эсэсовский мундир».

Возможно, военный мундир и в самом деле был бы ему к лицу, но я ничего дурного о Цветове сказать не могу. Единственное, в чем он был для меня «психологически повинен», это то, что пришел на место Филиппа Георгиевича (хотя, разумеется, не по своей инициативе). Виктор Пантелеймонович обладал многими достоинствами, всегда относился ко мне вполне корректно и в трудных ситуациях личного плана неоднократно помогал.

Начальником отделения, куда вошла лаборатория имплантации, был Владимир Александрович Фогель, человек в высшей степени порядочный, умный и рассудительный. Хороший специалист и руководитель, он и ругал, и хвалил по делу. С ним работалось нормально. После его перехода на северную площадку, в начальники нам достался Дьяченко, альпинист из породы мальчиков, которые вырастая и даже чуточку старея, не становятся взрослыми. Его петушиные словесные дуэли очень напоминали Портосовское «…дерусь, потому что дерусь!», и успеху работы никак не способствовали. При Дьяченко лаборатория имплантации фактически превратилась в цеховой придаток, работа там стала рутинной, и заведовать ею было мне уже совсем неинтересно.

Именно в это время Йозеф Вениаминович начал «соблазнять» меня разговорами, которые потом выкристаллизовались в идею «минифаба». Первоначально это звучало как довольно спорное утверждение, что «маленькое должно создаваться в маленьком». Подозреваю, что отчасти мысль была навеяна размерами лаборатории! Идея казалась абсурдной, потому что весь мир шел по пути групповых технологий, увеличения размеров кристаллов, а соответственно и габаритов оборудования.

Однако, в процессе наших споров обнаружилась одна тонкость. Это сейчас на каждом предприятии технологические маршруты практически унифицированы, и можно на одной большой пластине кремния или другого полупроводника изготавливать семейство различных по структуре и назначению микросхем. А тогда каждая новая микросхема требовала внесения каких-то изменений в маршрут или хотя бы в режимы операций. Поэтому делать изделия с небольшой тиражностью, так называемые «заказные микросхемы», производству было крайне невыгодно. Соответственно и разработчикам аппаратуры приходилось чаще довольствоваться, вместо заказных, серийными микросхемами, что, конечно, сказывалось на качестве аппаратуры. Поэтому создать на неэлектронных предприятиях небольшие и легко перестраиваемые полупроводниковые производства для собственных нужд, показалось очень заманчиво. (Подобные «минифабрики», думаю, были бы и сегодня востребованы профильными ВУЗами, технопарками и некоторыми разработчиками микросистемной техники. Так постепенно «маленькое в маленьком» трансформировалось Бергом в конкретную инженерную задачу.

Так же и я постепенно из непримиримого критика Джо превратился в его неофита и попросил Виктора Пантелеймоновича перевести меня в лабораторию Берга, хотя бы и ведущим инженером.

Смешно и грустно вспоминать с чего мы тогда начинали! Реактор для окисления, например, был сделан из двух шамотных кирпичей, остальные «макеты» были в том же роде. Но что-то все же удалось попробовать и, хотя бы самих себя, убедить в том, что основные законы физики мы не пытаемся нарушить.

Смерть Филиппа Георгиевича нас оглушила. Накануне Берг уехал в Москву к Старосу на заседание Академии Наук, как сказал он «… держать штаны Ф.Г.». Утром того дня Филипп Георгиевич позвонил в лабораторию, был весел и оптимистичен, собирался воспользоваться случаем и подъехать в Ленинград повидаться. А вечером позвонила мне Зотова и сказала, что его уже нет. Сразу связался с Филаретовым, попросил Зотову, чтобы она уладила на работе наше отсутствие, и мы с Гелей ближайшим поездом уехали в Москву.

Пребывание там вспоминается какими-то смутными обрывками (вероятно, был уже нездоров). Помню, как писал некролог. Потом поездку по подписавшим его инстанциям. Помню очередь в почетный караул и основательно поседевшую голову Филиппа Георгиевича. Помню, как на поминках Марк назвал нас всех «старосятами».

Вернувшись в Ленинград, я слег с инфарктом и на год выпал из обоймы.

За этот год Йозеф Вениаминович проделал гигантскую политическую работу по легализации идеи минифаба. Уже при мне состоялся его доклад на техническом совете «Светланы», где в ход была пущена вся тяжелая артиллерия многочисленных аргументов. Тех. Совет был против.

Но Филатов сказал «…а мне нравится».

«Царь указал, и бояре приговорили». Было принято решение прикомандировать к нам конструкторский отдел ОКБМ для разработки и изготовления экспериментальных модулей по основным технологическим операциям. Для размещения этих модулей Цветов выделил лаборатории Берга больше половины второго этажа высотки.

Мне довелось курировать разработки всех модулей, начиная от технических заданий и чертежей на кульманах, до сборки и отладки. Хочу добрым словом вспомнить ведущих конструкторов ОКБМ Антипова и Анищенкова, высокому профессионализму которых мы во многом обязаны всем последующим.

Уже при постановке задачи было понятно, что создание минифабрики даже в макетном варианте, требует решения многих принципиальных конструкторско-технологических задач. Целью создания модулей являлось моделирование их работы в условиях помещения с бытовыми климатическими параметрами и исследование результатов на тестовых пластинах кремния диаметром 15 мм. (одна пластина – один чип). Задачей работы была проверка качества проведенных на модулях стандартных технологических операций.

Кардинальным вопросом конструирования модулей было создание особо чистых условий на всем пути обработки пластин и их межмодульной транспортировки. Вопрос был решен созданием внутри модулей закрытых многореакторных унифицированных технологических отсеков и особой конструкцией шлюзов и стыкуемых с ними герметичных кассет-накопителей. Очистка газовой среды в отсеках производилось непрерывной рециркуляцией воздуха через фильтрующую систему, что оказалось на порядок величины эффективнее наиболее совершенных «чистых комнат». Производительность модулей обеспечивалась конвейерным прохождением пластин через реакторы технологического отсека. Каждый модуль был автоматизирован, и имелась возможность перестройки режимов работы в широких пределах.

Изготовленные модули разместили во втором этаже высотки ЛКТБ, и начался мучительный процесс их налаживания, в котором участвовали не только сотрудники лаборатории, но и конструкторы, причастные к их созданию. После многих проб и доделок всё заработало.

Отработка технологических процессов на модулях показала их пригодность к воспроизведению стандартных операций: тестовые пластины-чипы соответствовали нормальным показателям основных характеристик.

Работами по «МИНИФАБ-15» заинтересовался руководитель инновационно-инвестиционного комплекса СПбГПУ Николай Григорьевич Колосов, в течение последующего года финансировавший технологические исследования на модулях.

На основании полученных в ЛКТБ результатов, в ППИ «Научный центр (Зеленоград) была начата ОКР «Гора» – «Разработка автоматизированного комплекса для проектирования и изготовления заказных интегральных схем» (АКДПЗИС-15). Научным руководителем разработки был назначен Станислав Александрович Горяинов, Главным конструктором – Берг. Меня назначили заместителем Берга по технологии.

В работах, ввиду многопрофильности задачи, участвовали представители 16 предприятий. От ЛКТБ кроме Берга и меня над проектом работали: В.М. Вальков Б.Н. Котлецов и Р.А. Лашевский. Были проанализированы все известные к тому моменту планарные технологические маршруты по кремнию и арсениду галлия (последнее было выполнено В.И. Пресновым) и рассмотрены варианты реализации различных технологических маршрутов. Был разработан базовый модульный состав комплекса; разработан алгоритм и средства управления (Вальков); рассмотрены варианты литографии (Котлецов). Особое внимание было уделено разработке систем экологической безопасности (замкнутая система обеспечения и нейтрализация отходов), которые позволяли дислоцировать минифаб на предприятиях любого профиля.

В 1990 году состоялась защита аванпроекта на объединенном Научном Совете МЭП, МРП и АН СССР. Проект получил высокую оценку и «добро» на продолжение работы. Бергу была вручена грамота «За лучшую разработку МЭП 1990 года».

Но это был последний и, увы, незавершенный проект Берга. Обрушилась на страну «перестройка», прекратилось финансирование, работы были остановлены. Лаборатория Берга снова повисла финансовым бременем на небогатом кошельке ЛКТБ.

В канун 1991 года меня вызвал Цветов и сообщил, что не сможет в новом году продлить со мной трудовое соглашение (пенсионерам оно давалось на 1 год). Сам того не подозревая, Виктор Пантелеймонович оказал мне неоценимую услугу: на следующий день меня пригласили на работу в Политех и недоброй памяти «лихие девяностые» мне удалось пережить относительно сносно.

Берг потом тоже какое-то время работал у Колосова.

Скончался Йозеф Вениаминович в августе 1998 года в Москве, где неисправимый мечтатель надеялся добыть средства для «минифаба» в фонде Горбачева. Из друзей был тогда около него только Станислав Александрович Горяинов, ныне тоже покойный.

Вот, пожалуй, и все, что я извлекаю сегодня из лабиринтов памяти. Нельзя объять необъятное: остались нетронутыми и музыкальные вечера, и лыжные прогулки, совместные поездки «на картошку» и многое-многое другое. Со временем что-то забывается, стираются в памяти имена. Некоторые имена помог мне вспомнить Гелий Филаретов, так что в «лабиринте» есть и его закоулки.

Мой искренний привет всем «старосятам», которые прочтут это эссе, тоже, быть может, проникнутся ностальгией и вспомнят что-нибудь своё.

И моя благодарность им за прожитые рядом годы.

¹ ХХ съезд КПСС развенчал культ личности Сталина.
² СЛ-11 в ОКБ-998 Министерства авиационной промышленности.
³ Раймонда Дьен – француженка, выступавшая против войны Франции в Индокитае. 23.02.1950 легла на рельсы перед поездом с танками, следовавшими для отгрузки в воюющую армию.
⁴ Гальперин М. П. «Прыжок кита». СПб. Политехника – сервис. 2010, 352 с.
⁵ То есть до 1970 года, когда Ф. Г. Старос переехал в свой кабинет из Дома Советов на Московском проспекте на Московское шоссе, 46.
⁶ СКБ-2 в абонементном ящике 233 (будущим НИИ радиоэлектроники – НИИРЭ) Государственного Комитета по радиоэлектронике.
⁷ Ю.З. Бубнов, М.С. Лурье, Ф.Г. Старос, Г.А. Филаретов. Вакуумное нанесение плёнок в квазизамкнутом объеме. М., «Советское радио», 1975. 160 с.
⁸ Государственный комитет электронной техники (ГКРЭ), куда вошло СКБ-2 как самостоятельное предприятие абонементный ящик 155.
⁹ Председатель ГКРЭ, министр А.И. Шокин.
¹⁰ Роковое письмо – https://d-russia.ru/rokovoe-pismo-iz-istorii-sovetskoj-mikrojelektroniki.html
¹¹ Это воспоминание нуждается в уточнении. Порки были две. Одна на коллегии МЭП в Москве, где вместе со Старосом и Бергом присутствовали В.М. Вальков, секретарь партийного бюро предприятия и Г.Р. Фирдман, начальник лаборатории. Вторую проводил заместитель Шокина Михайлов в КБ на расширенном партийном собрании, которое и описывает Михаил Семёнович.
¹² Ручей – река Волковка. Котельный паровоз – подробности в https://memoclub.ru/2020/07/pervyiy-zvyozdnyiy-chas-sovetskoy-mikroelektroniki/
¹³ Включение в «Позитрон» – март 1970 года, перевод в «Светлану» – июнь 1972 года.

Январь 2015

Примечание:

Все сноски – примечания редактора

В начало